懸臂接觸式RF MEMS開關的設計
全部作者： 張義愷 第1作者單位： 北京郵電大學自動化學院摘要： 本文研究的金屬接觸型RF MEMS開關由懸臂梁，驅動電極，金屬觸點等部分構成。基于微波、材料和機械設計因素的考慮，本次設計選取了氮化硅作為懸臂梁的材料，以保證有材料具有良好的機械特性和化學穩定性。并選擇金作為接觸金屬，是由于金在穩定性和導電性方面的優勢。懸臂梁為PECVD制作的氮化硅薄膜,聚酰亞胺作為犧牲層,運用等離子體刻蝕法釋放犧牲層。研究了懸梁、電極的制作工藝,并分析了犧牲層的制作和刻蝕工藝對開關結構的影響，并對開關進行失效分析。 關鍵詞： 微機電系統，射頻開關，值電壓，失效 (瀏覽全文) 發表日期： 2007年07月23日 同行評議：
作者應當通過實驗來驗證其設計的正確性,可是其并未做實驗,沒有在實驗中修正其設計,理論分析不準確.
綜合評價： 修改稿： 注：同行評議是由特聘的同行專家給出的評審意見，綜合評價是綜合專家對各要素的評議得出的數值，以1至5顆星顯示。
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